目前，使用壓縮空氣操作的AOV閥（氣動閥）主要用作切換MO材料氣體的閥。AOV閥門便宜且易于構造并且普遍受歡迎。

　　然而，由于操作時間的變化取決于管長度，操作壓力和同時操作中的閥門數量，因此高精度地打開和關閉閥門是非常困難的。因此，管道內的壓力存在相當大的波動，這會擾亂處理室內的MO材料的濃度，并導致膜厚度和質量的變化，這對產品質量有不良影響。

　　因此，為了滿足制造公司需要陡峭的氣體交換的需要，出現了閥門電動裝置，其可以在超高速開閉，并獲取為一專利“電磁操作式金屬隔膜型控制閥”，在2000年成功實現產品化。